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在半导体工业生产中，特别是化学机械抛光CMP的浆料输送和分配，例如流动回路控制器，通常需要内部空气，这通常会在处理工具中呈现清洁问题，但是使用精密蠕动泵，浆料始终不会在管道内受到污染。
精密蠕动泵适用于各种管尺寸，高科技管材和新型先进泵头设计可长时间长时间提供准确，可靠和可重复的连续流体传输。
多种泵管选项和各种高性能泵头可满足半导体生产的挑战性要求，包括输送钨和氧化物浆液，去离子水和氢氧化铵。对于这些关键应用，是“当性能重要时”的理想选择。
